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 當了解了超純水中雜質對器件的影響后，如何確定超純水系統(tǒng)流程以保證生產(chǎn)設備對超純水水質的要求就成為超純水系統(tǒng)所要解決的首要問題。工業(yè)純水制備系統(tǒng)應根據(jù)原水水質及工藝生產(chǎn)設備要求的超純水水質來確定，一般由下列三部分組成：預處理系統(tǒng)、純水處理系統(tǒng)、超純水制取系統(tǒng)。 

 在超純水制備的純水處理系統(tǒng)中，往往要使用反滲透裝置(RO)，且反滲透膜多以交聯(lián)芳香族聚酰胺復合膜為主，這類膜的不足之處在于：抗氧化性差，氧化性物質能導致膜聚合物分解，而活性炭恰恰對水中余氯、過氧水等氧化性物質有良好的去除效果。因此，在工業(yè)超純水制備的預處理系統(tǒng)中采用活性炭處理單元是十分必 要的。

  一次純水處理系統(tǒng)的目的是對預處理系統(tǒng)的出水進一步進行處理，代表性的裝置有反滲透、混合離子交換、一級膜脫氣、EDI(電再生脫鹽)、UV(紫外線)、一級拋光等。其中，反滲透、UV進一步去除一次純水處理系統(tǒng)遺留下來的TOC;混合離子交換既可去除一次純水處理系統(tǒng)遺留下來的TOC，也可去除SiO2;利用膜脫氣對預處理水中的溶解氧進行處理;一級拋光采用高純樹脂，用來處理金屬離子。

  預處理的目的是去除水中所含的懸浮物、膠體、高分子有機物等雜質。需要指出的是，活性炭對去除TOC有非常好的效果，但它也往往成為微生物的滋生地。因此，在預處理系統(tǒng)中采用活性炭處理單元時，應將活性炭處理單元的進水調成酸性，以防止微生物滋生。--東莞超純水處理設備，

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