◆原水→原水箱→原水泵→砂過濾器→碳過濾器→軟化過濾器→高壓泵→保安過濾器→反滲透裝置→中間水箱→EDI增壓泵→EDI裝置→精密過濾器→用水點(diǎn)
◆源水→源水儲(chǔ)水箱→增壓泵→機(jī)械過濾器→活性炭過濾罐→阻垢系統(tǒng)→主機(jī)泵→不銹鋼保安過濾器→反滲透設(shè)備-中間水箱-混床增壓泵-陰陽離子交換混床-純化水箱-核級(jí)混床增壓泵→精制核能級(jí)混床→紫外線殺菌器→0.22U精密過濾器-用水點(diǎn)
◆ 原水箱→原水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→鐵錳過濾器→軟化水設(shè)備→反滲透精密過濾器→一級(jí)主機(jī)泵→一級(jí)反滲透凈化水裝置→二級(jí)主機(jī)泵→二級(jí)反滲透凈化水裝置→ 純水箱-EDI增壓泵→EDI高純水裝置→紫外線殺菌器-0.22或0.5 μ m精密過濾器(或稱保安過濾器)-用水點(diǎn)
超純水設(shè)備/EDI高純水系統(tǒng)應(yīng)用范圍
◆半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
◆超純材料和超純化學(xué)試劑;
◆實(shí)驗(yàn)室和中試車間
◆汽車、家電表面拋光處理;
◆其他高科技精微產(chǎn)品。
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